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MINI 离子溅射仪
  • 磁控溅射阴极技术：喷镀细腻、无热损伤
  • 触摸屏一键自动化：使用便捷、省时省心
  • 模块化旋转样品台：3D 样品喷镀
J20 双靶离子溅射仪
  • 双靶磁控溅射阴极：无需换靶、特色叠喷工艺
  • 触摸屏一键自动化：使用便捷、省时省心
  • 标配模块化旋转偏转样品台：3D粉末类样品喷镀
RPS50EM 远程等离子体清洗源
  • ICP-RF技术，等离子体更温和
  • 低热损伤，低离子轰击损伤
  • 全自动触摸屏控制，操作简便
SPC150 高真空等离子体清洗仪
  • 超薄碳膜碳氢污染清洗
  • TEM 样品/样品杆等离子体处理
  • 特色硅污染清洗
IC150 等离子体清洗仪
  • TEM 样品及样品杆清洗
  • 载网 / 样品表面亲水化处理
  • 高性能真空干泵，无油高效
COOLGLOW 辉光放电仪
  • ICP-RF技术：等离子体更温和
  • 常温无损伤
  • 均匀重复性好
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FST 5000 薄膜应力测量仪
  • 双波长扫描
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FST 6000 在线薄膜应力测量仪
  • 高通量的工艺控制需求方案
  • 双波长扫描
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FST1000 薄膜应力测量仪
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BCT1000 球坑测厚仪
  • 专用球坑测量软件
  • 精密的机械部件
  • 高性价比
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DSC3000 Load-Lock磁控溅射镀膜机
  • 交换舱设计，不破真空更高效
  • 自动Recipe控制，可远程操作
  • 在线等离子体清洗，提高附着力
DSC2000 磁控溅射镀膜机
  • 自动旋转升降样品台：更均匀
  • 自动Recipe控制：可远程操作
  • 在线等离子体清洗：提高粘附性
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公司简介
Company Profile
速普仪器总部位于深圳市南山区高新科技园区域，并在北京和苏州设有办事处。公司通过了生产体系ISO9000认证、产品CE认证、国家高新技术企业和专精特新等资质认证。公司拥有一群热爱产品设计与仪器开发的成员，核心团队来自中国科学院体系。 速普仪器致力于电镜制样和微纳薄膜领域提供精益级制备、测量和控制仪器，协助客户提高研发和生产效率，以及带给客户更好的使用体验。
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