技术规格

参数

适用场景

 SEM（如EDS、EBSD及EPMA分析）、FIB加工以及TEM样品所需碳镀层制备

真空泵组

 涡轮分子泵+无油隔膜泵

抽速

 分子泵：≥9  L/s；隔膜泵：≥0.7 m³/h

极限真空

  <5×10^-2  Pa

工作气压

  ≤0.5 Pa

泵组启动时间

  <5 min

真空计

 复合高真空计（测量范围：1×10^-3 Pa-标准大气压）

腔室尺寸

  ~110mm长 ×190mm深 ×110mm高

样品台

  Ø80 mm旋转样品台，转速：60 RPM

碳源

  Ø0.8 mm碳绳，自动进碳绳

蒸发电源

  脉冲蒸发，恒电流直流电源，输出： Max.400 W， Max.20 A，Max.20 V

排气口

  Ø8 mm快插接口，标配消音过滤器

操作方式

  触摸屏控制，控制系统提供互锁保护功能

尺寸

  300 mm长×460 mm深×305 mm高

重量

  ~28 kg

输入电源

  100-240 V AC  ，50/60 Hz ，三脚接地插头

功耗

  <500 W

质保

  一年

备注

  以上所列技术规格与参数更新恕不另行通知，如有疑问请联系我们