CN
IC150 等离子体清洗仪
TEM 样品/样品杆清洗、亲水化处理
1TEM 样品及样品杆清洗
2 载网 / 样品表面亲水化处理
3 高性能真空干泵,无油高效
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产品介绍
Product Introduction
TEM 样品杆或样品如果暴露在空气中或存储不当,容易产生有机污染,如果继续将其置 于TEM 腔室内,不仅会影响成像质量,而且对 TEM 腔室也会造成污染。

等离子体清洗仪IC150,通过RF射频电源将通入的空气离化,离化后产生的氧活性自由基、 臭氧及氧等离子体等强氧化粒子与样品表面有机污染物发生化学反应,生成 CO2 和 H2O 等气体并被真空泵组抽出,最终实现样品杆或样品表面有机污染物清洗之目的。
基本参数
Product Specification

技术规格

参数

泵组

无油隔膜泵

抽速

>0.7m3/h

极限真空

<50Pa

工作气压

60-150Pa

抽真空时间

<2Min

真空规

皮拉尼真空计

腔体

标配150*90mm不锈钢腔体

TEM样品杆转接

适用于Thermo、JEOL、HITACHI等品牌样品杆转接

射频功率

可调功率工作范围:10-50W,13.56MHz

操作方式

触摸屏控制,控制系统提供互锁保护功能

重量

~20kg

尺寸

~430mm长*385mm深*410mm高