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FST1000 薄膜应力测量仪
硬质涂层残余应力测量,可测范围:0.1GPa~10 GPa量级
1易操作
2 全自动测量
3 高性价比
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产品介绍
Product Introduction
基于经典基片弯曲法Stoney公式测量原理,采用先进控制技术和傻瓜化的操作,使得FST1000薄膜应力仪特别适合于要求快速测量硬质涂层等薄膜残余应力(典型值0.1GPa到10 GPa量级)。

源自中科院金属研究所和深圳职业技术学院相关研究成果转化! 专利号:CN204854624U;CN203688116U;CN100465615C
基本参数
Product Specification
技术规格 参数
基本原理 激光曲率法 基于Stoney公式
薄膜应力测试范围 10M-50GPa
曲率半径测试范围 0.5-50m
薄膜应力计算精度 小于3%
曲率半径重复精度 <2%
测试平台行程 X方向:30 mm / Y方向:100 mm;步长:Min 0.1 mm
样品尺寸 建议长宽比>5:1的长方形样品;典型尺寸:10×50×1 mm
样品校正 可计算校正原始表面不平直影响(对减模式)
主要功能 可建测量样品材料参数、测量参数数据库 自动测量样品表面轮廓、曲率、弓高等数据 自动计算曲率半径和薄膜应力 2D/3D 可视化样品表面轮廓、曲率半径、弓高、薄膜应力等数据
工作温度 0-50℃
操作软件 视窗界面/适用于Windows 10 系统
操作电脑 配置优于 2GHz CPU、 8G 内存、256G 硬盘,不小于21寸显示屏 知名品牌一体机
重量尺寸 ~25kg / ~650 mm宽×350 mm 深×400 mm高
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