场发射扫描电镜较灯丝电镜具有更高的分辨率，其放大倍率可以提高至 10 万倍量级，所以对喷金仪器的颗粒度提出更高的要求，不仅要求颗粒细腻不要覆盖样品表征，而且要在荷电消除和衬度提高上有所增益。

场发射 SEM 电镜制样常规的应对方案是喷镀 Pt 金属，但 Pt 的漏电能力和电子信号激发能力不如Au，特别是在 3D 粉末类、多孔类及隔膜类样品场景，仅靠喷镀 Pt 难以通用。

因此，我们设计了双靶离子溅射仪，并开发出叠层工艺：先喷 Pt 后喷 Au，可以通过 Pt 对样品先形成保护，然后通过 Au 提高样品的漏电能力和信号量，起到抑制荷电和提高形貌衬度的双重作用，结合少量多次、旋转偏转等方式，让 SEM 成像更优质。