CN
J20 双靶离子溅射仪
可喷镀金属:Au、Pt、Pd、Ir等单金属和任意组份的 Pt-Au、Pt-Pd 合金等
1双靶磁控溅射阴极:无需换靶、特色叠喷工艺
2 触摸屏一键自动化:使用便捷、省时省心
3 标配模块化旋转偏转样品台:3D粉末类样品喷镀
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产品介绍
Product Introduction
场发射扫描电镜较灯丝电镜具有更高的分辨率,其放大倍率可以提高至 10 万倍量级,所以对喷金仪器的颗粒度提出更高的要求,不仅要求颗粒细腻不要覆盖样品表征,而且要在荷电消除和衬度提高上有所增益。

场发射 SEM 电镜制样常规的应对方案是喷镀 Pt 金属,但 Pt 的漏电能力和电子信号激发能力不如Au,特别是在 3D 粉末类、多孔类及隔膜类样品场景,仅靠喷镀 Pt 难以通用。

因此,我们设计了双靶离子溅射仪,并开发出叠层工艺:先喷 Pt 后喷 Au,可以通过 Pt 对样品先形成保护,然后通过 Au 提高样品的漏电能力和信号量,起到抑制荷电和提高形貌衬度的双重作用,结合少量多次、旋转偏转等方式,让 SEM 成像更优质。
基本参数
Product Specification

技术规格

参数

真空泵

 高性能旋片泵

抽速

  ≥4 m3/h

极限真空

  <1Pa

工作气压

  4-10 Pa,可恒压控制

抽真空时间

  < 3-5 Min

真空规

  皮拉尼真空计

腔室尺寸

  ~Ø 135 *120 mm(内尺寸)

数显样品台

  Ø75mm可偏转数显行星样品台,旋转转速:10-60RPM可调,偏转角度:±40度可调,靶基距40-60mm可调

溅射靶材

  靶材尺寸 Ø 30 * 0.2-0.5mm/2只,可实现单靶溅射、双靶共溅射、双靶交替溅射功能

溅射电源

  恒功率磁控DC溅射电源 Max. 20W ,Max. 100 mA,0-800 V DC

操作方式

  触摸屏控制,控制系统提供互锁保护功能

重量

  主机~21.5 kg

尺寸

  ~430mm长 *407mm深 *422mm高

应用案例
Application cases
普通样品场景
粉末、隔膜类样品场景
易损伤样品场景
花粉
蝴蝶翅膀
芯片
普通样品场景 (平面样品,类比平路):J20(SUV)基本等同于常规的单靶离子溅射仪(轿车), 甚至单靶高真空离子溅射仪效果
锂电前驱体粉末-喷镀Pt
锂电前驱体粉末-喷镀Pt-Au叠层合金
锂电前驱体粉末-喷镀Au

同样的喷镀条件,喷Au荷电消除效果显著,但可清晰看到Au颗粒,Pt荷电未消除,Pt-Au叠层样品既没有荷电也看不清金属颗粒。


3D样品场景(粉末、多孔、纤维等,类比山路): J20倾角双阴极+旋转偏转+叠层工艺,实现全方位多角度大面积沉积,其荷电效果和图像效果优于单靶喷Pt效果
聚乙烯薄膜-未喷镀
聚乙烯薄膜-喷镀Pt-Au叠层合金
聚乙烯薄膜-喷镀Pt-Au叠层合金
没喷镀之前5K倍成像已出现纳米线黏连变形的现象,分两次共溅射铂40秒加固结构,然后加铂5秒+22秒金 ,期间保持样品台旋转(20RPM)加倾斜±30度连续改变,30K倍可清晰成像。

易损伤样品场景:在处理脆弱敏感材料的时候,可以先喷Pt对样品的表面形成保护,然后喷Au去提升样品的漏电能力和信号量,结合样品的旋转偏转增加金膜覆盖的均匀程度,最后得到形貌更真实且清晰的图像。