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FST 6000 在线薄膜应力测量仪
可测量晶圆类光电薄膜样品的弓高、翘曲、轮廓形貌、曲率半径和薄膜应力
1高通量的工艺控制需求方案
2 双波长扫描
3 全自动测量
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产品介绍
产品介绍
Product Introduction
基于经典基片弯曲法Stoney公式测量原理，采用先进的激光扫描方式和探测技术，以及智能化的操作，使得FST5000薄膜应力仪特别适合于晶圆类光电薄膜样品的弓高、翘曲、轮廓形貌、曲率半径和薄膜应力测量和计算。
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