基础知识27——等离子清洗
编者荐语：
摘自正文-“需要拍摄高倍STEM或者上球差电镜，以及一些较容易积碳的样品（比如粉末样品），一般建议可先进行等离子体清洗再上机。”
以下文章来源于中材新材料研究院 ，作者科普小助手
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等离子清洗器，它可以去除表面的污染物和改变表面（例如改变湿度）。等离子清洗器已经在改善/清洗玻璃表面、半导体及其他陶瓷、金属甚至是聚合物和生物材料上使用了很长时间。开发等离子清洗器清洗TEM样品杆（插入TEM真空腔部分）比较晚。现在市场上透射电镜使用的等离子清洗器一般都将它做成一个小箱子，通常能容纳一个样品杆，样品杆在插入TEM之前，先在等离子腔里清洗。
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值得注意：
大多数电子束的污染是来自样品，而不是“脏的”真空。
尽管等离子体发生的过程是很复杂的（就像等离子体本身），但基本思路就是去除样品表面的碳氢化合物污染物。如下图所示：
利用等离子清洗器清洗样品表面，减少由聚焦电子束引起的污染。（A）区域I是样品清洗前的状况。区域2和3（看不见的）是分别经5minAr等离子体清洗和随后外加5min的氧等离子体清洗。(B)样品污染物的生成速率；外加的氧清洗总是减小污染速率。
由高能电子和离子组成的等离子体轰击表面并打断C-H键，在短时间内，对样品表面本身是不会有影响的，因此碳氢化合物逐渐变成小分子并在清洗器的真空腔内被抽走。
上图(B)给出的使用氧等离子体的效应：在电子探针下，它降低了污染的产生速率；氧活性气体的作用与在离子减薄中使用碘的情况类似。
什么情况下需使用等离子清洗呢？？
答：需要拍摄高倍stem或者上球差电镜，以及一些较容易积碳的样品（比如粉末样品），一般建议可先进行等离子清洗再上机。
等离子清洗效果如何? 差别明显吗？
答：下图是金属纳米片等离子清洗前后的形貌对比图，样品不同效果会有所差异哦，供参考：
等离子清洗前，黑色箭头所指为污染物
等离子清洗后，污染物明显减少
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