技术规格

参数

主要用途

  金属薄膜电极

真空泵组

  标配干泵+2台分子泵组

泵组抽速

  >7m3/h 干泵+250 L/S 分子泵

极限真空

  <1.0E-4Pa

工作气压

  典型值：0.3-1 Pa

抽空时间

  <30Min （<1.0E-3 Pa，洁净腔体）

真空测量

  测量范围大气压到1.0E-8Torr，进口品牌复合真空计

气体控制

  两路 /三路MFC气体质量流量控制器（50或100 SCCM Ar/N2）

腔室尺寸

  Load Lock腔体Ø 300 *180 mm 工艺腔体Ø 300 *180 mm

闸板阀

  AdvanTorr

磁控靶源

  靶材尺寸 Ø 76.2*0.1-5 mm /2只

  选配一：靶材尺寸 Ø 50.8*0.1-5 mm /3只

  选配二：靶材尺寸 Ø 203.2mm/1只

  可实现单靶溅射/双、三靶共溅射/交替溅射

  带独立挡板，可溅射贵金属Au/Pt等，

  或金属Al、Cr、Ag、Ti、Cu、Ni等金属（通Ar气）

溅射电源

  恒功率磁控DC溅射电源 Max. 500W （可选国产或进口品牌ADL）

  偏压DC溅射电源 0-400V电源（选配）

样品台

  8英寸样品台。系统采用多轴伺服电机控制系统+磁流体密封+波纹管模组，可以实现样品台自动上下升降（可调范围不低于40mm），以及样品台的旋转（速度 0-60 RPM可调）

等离子清洗

  可选配RF射频等离子清洗源（75W）

工控模式

  提供客户端工艺菜单编辑软件。可以实现工艺菜单灵活编辑（可以在工 艺编辑软件进行模块化的工艺菜单编辑）+工艺菜单自动控制执行模式（载入工艺菜单，支持实现无人值守或远程网络控制镀膜）

操作方式

  触摸屏控制/电脑远程网络控制

重量尺寸

  ~300 Kg / 800 mm宽*1500 mm深*1500 mm高

输入电源/气

  220V AC，50/60Hz 接地三脚插头，压缩空气0.4MMa

输入功耗

  < 3500 W

冷却方式

标配水冷机