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半导体薄膜量测硬质涂层量测
Product Introduction
Product Specification
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技术规格 |
参数 |
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真空泵 |
高性能旋片泵 |
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抽速 |
≥2m3/h |
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极限真空 |
<10Pa |
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工作气压 |
10-100Pa |
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抽真空时间 |
<1Min |
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真空规 |
皮拉尼真空计 |
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腔体 |
标配~Ø150*90mm石英玻璃腔体 |
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射频电源 |
10-50 W可调， 13.56 MHz |
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操作方式 |
触摸屏控制，控制系统提供互锁保护功能 |
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重量 |
主机~20 kg |
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尺寸 |
~400mm长*310mm深*368mm高 |
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