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技术规格 |
参数 |
工作气压 |
0.5-40Pa |
射频电源 |
13.56MHz射频电源,射频功率10-50W可调 |
气体模块 |
标配MFC 100sccm流量计(N2)/1只 |
操作方式 |
触摸屏控制,控制系统提供互锁保护功能/提供串口控制指令,可供后续开发编程 |
尺寸 |
250mm长*350mm宽*110 mm高(控制器) 178.5mm长*138.5mm宽*99.5mm高(RF离子源) |
重量 |
~9kg |
连接方式 |
KF40法兰接口 |
进气系统 |
Ø6mm进气口 |
电源 |
100-220V AC,50/60Hz 接地三脚插头 |
功耗 |
<200 W |