CN
MINI 离子溅射仪
可喷镀金属:Au、Pt、Pd、Ir 等
1磁控溅射阴极技术:喷镀细腻、无热损伤
2 触摸屏一键自动化:使用便捷、省时省心
3 模块化旋转样品台:3D 样品喷镀
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产品介绍
Product Introduction
过去十年,随着灯丝及电子光路的优化,特别是化合物灯丝的使用,灯丝电镜分辨率进一步提升,从典型的几千倍到几万倍量级,甚至达到传统入门级场发射电镜水平。

离子溅射仪相应地也从二极溅射升级到磁控溅射为主。通常 <2 万倍内,喷 Au 为主,2-10 万倍区间以喷 Pt 为主,足以应对大多数灯丝 SEM 场景。

针对越来越多 3D 样品场景(粉末、颗粒、多孔、纤维等样品),我们自主设计了模块化的数显样品旋转台。倾角式行星旋转模式使得薄膜沉积更均匀,且可实现立体角旋转 喷镀,解决了样品侧面的绕镀问题,对于 3D 粉末类、多孔类及隔膜类样品 SEM 制样特别友好。
基本参数
Product Specification

技术规格

参数

真空泵

  高性能旋片泵

抽速

  ≥4m3/h

极限真空

  <1Pa

工作气压

  3-10Pa

抽真空时间

  <3Min

真空规

  皮拉尼真空计

腔体

  标配 Ø120*120mm 石英玻璃腔体

数显样品台

Ø50mm可偏转数显行星样品台,旋转转速:10-60RPM可调,偏转角度:±30度可调,靶基距40-60mm可调

磁控溅射靶

  靶材尺寸 Ø50*0.1-1mm

溅射电源

  恒功率DC溅射电源 Max. 20W, Max. 100mA, 0-800V

操作方式

  触摸屏控制,控制系统提供互锁保护功能

重量

  ~20kg

尺寸

  ~250mm宽*390mm深*328mm高

应用案例
Application cases
NFPP
花粉
NFPP