技术规格

参数

真空泵

  高性能旋片泵

抽速

  ≥4m³/h

极限真空

  <1Pa

工作气压

  4-10Pa，可恒压控制

抽真空时间

  <3-5Min

真空规

  进口品牌皮拉尼真空计

腔体

  标配 Ø150*120mm 石英玻璃腔体

数显样品台

Ø75mm可偏转数显行星样品台，旋转转速：10-60RPM可调，偏转角度：±40度可调，靶基距40-60mm可调

磁控溅射靶

  靶材尺寸 Ø50*0.1-1mm

溅射电源

  恒功率DC溅射电源 Max.20W，Max.100mA，0-800V

操作方式

  触摸屏控制，控制系统提供互锁保护功能

重量

  ~20kg

尺寸

  ~400mm宽*337mm深*346mm高